旋涂是一种通过将化学物质分配到旋转中的基材上，以形成薄膜的工艺。通过在特定的旋转速度下操作，可以在基材表面得到一定厚度的均匀涂层。
注意事项
为了获得成功的旋涂效果，需要注意以下几个关键因素：
- 环境条件：温度、湿度和空气中的颗粒物都会影响涂层的质量。
- 消耗品质量：使用新鲜的化学品对于获得理想结果至关重要。
- 基材和设备的清洁度：从清洁的基材开始是成功的第一步，任何污染都可能在涂层过程中导致问题。
安装基板
对于涂层应用，您将使用真空吸盘来固定基材，以便在沉积化学物质时保持稳定。为了确保基材牢固固定并能够承受最高的旋转速度和加速度，基材必须完全覆盖吸盘的表面，并形成真空密封。选择合适的吸盘至关重要，而市面上有许多种类可供选择。
安装好吸盘后，确保基材正确居中是减少旋转过程中不稳定性的关键。对于SEMI标准晶圆和圆形晶圆，可以使用标准对准工具。材料的分配方式会直接影响涂层的质量。简单的手动分配，例如使用移液器，虽然有效，但建议使用注射器和专用的注射器支架，以实现更一致的分配。
静态点胶涂层
1.将化学物质滴加在基材的中心，形成的液滴应覆盖基材直径的一半左右。
2.启动旋涂机，离心力会将材料均匀地分布在基材表面，剩余的化学物质则会被甩离基材。
3.多余的化学物质将从基材上脱落。
4.在基材旋转的过程中，化学物质中的溶剂会逐渐蒸发，最终薄膜的厚度取决于多个因素，其中最重要的是最终的旋转速度和材料的粘度。
5.作为该过程的一部分，可以在基板的边缘形成珠子。这种边珠会干扰进一步的加工。去除边珠可以通过受控的溶剂流来完成，最好作为涂层过程的一部分进行。
6.涂层完成并固化后，整个过程即告结束。通过对薄膜的精确表征，您可以调整工艺以达到所需的结果。
动态点胶涂布
1.动态分配与静态分配的不同之处在于，您将把化学物质分配到已经旋转的基材上。
2.一旦化学物质接触到基材，扩散过程就立即开始。
3.您需要持续分配化学物质，直到其扩散到旋转中的基材边缘。
4.从这一点开始，后续过程与静态点胶相同。根据我们的经验，动态点胶通常比静态点胶提供更好且更一致的涂层效果。
